• <p id="qoqmn"><del id="qoqmn"><xmp id="qoqmn"></xmp></del></p>
    <pre id="qoqmn"><label id="qoqmn"><xmp id="qoqmn"></xmp></label></pre>

  • 歡迎來到中山市凱美電子有限公司!售前咨詢服務熱線:0760-85898373 13822768980

    產品展示

    聯系我們

    地址:廣東省中山市三鄉鎮鴉崗西邊嶺3號4樓

    聯系人:王衡

    電話:13822768980

    E-mail:kevin@kvmen.com

    案例展示您當前所在的位置:首頁>>案例展示

    應用管式PECVD


    石英管外部加電感線圈,射頻功率加載在線圈上,石英管兩端密封,抽真空,通過電感耦合方式,射頻功率會耦合到石英管內部,石英管真空度在10-60帕之間,射頻功率使石英管內部含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

    國內傳統射頻匹配器在應用此類設備的過程中,在管內氣壓或者氣體變化的時候,匹配器跟蹤會出現紊亂的情況,導致失配,從而使制程出現異常,我司射頻匹配器采用數字算法,無論氣壓或者氣體變化,總能夠及時跟蹤,實時進行匹配。目前我司的射頻電源和自動匹配器,已經廣泛應用于國內各大科研設備制造商。

    性色AⅤ无码久久久久久精品_日日狠狠久久偷偷四色综合免费_久久亚洲无码_久久久久久精品一级毛片